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无尘用品新净界洁净用品中心:无尘室的特性和潜在问题的分析
来源:/ 作者:WSI(东莞和生) 日期:2014年11月25日 访问次数:

 

提要:近年来,国内在半导体工业所投入的资金不下数千亿,整个半导体工业迅速发展。然而,有别于传统的作业方式,半导体制程大多于无尘的密闭空间中进行,因此对于无尘室中各项安全卫生问题与危害特性是值得深入探讨的问题。

 

何谓无尘室

    将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、湿度、清净度、室内压力、流体速度与气流分布、噪音、振动及照明、静电等控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之空间。无论外在空气条件如何改变,其室内均能具有维持原先所设定要求之标准状态

 

特性:

1.密闭构造

2.能源集中及多样化

3.循环空气及正压气体

 

潜在问题分析

1.灾难逃离困难

2.火灾发生容易扩大

3.异味的困扰

4.安全标示

5.人因工程潜在危害

 

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